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主要用途及適用范圍

主要用途:

1.用于存放研磨頭,并實(shí)時監(jiān)控和上報研磨頭狀態(tài)

2.實(shí)時顯示研磨頭狀態(tài)信息(如:新、舊、是否需要保養(yǎng)等)

適用范圍:適用于半導(dǎo)體晶圓廠實(shí)時追蹤研磨頭





工作原理

研磨頭正確放入抽屜后觸發(fā)行程開關(guān),然后觸發(fā)貨位的天線模塊讀取標(biāo)簽信息, 最后點(diǎn)亮對應(yīng)狀態(tài)的LED燈;每個控制板控制縱向5個格位,每個控制板之間相互 獨(dú)立不關(guān)聯(lián)。


產(chǎn)品尺寸及重量

外觀尺寸



重量:約400kg


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