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主要用途及適用范圍

主要用途:用于存放研磨頭,實(shí)時(shí)監(jiān)控研磨頭的狀態(tài)

適用范圍:適用于半導(dǎo)體晶圓廠實(shí)時(shí)追蹤研磨頭狀態(tài)


產(chǎn)品特點(diǎn)

本產(chǎn)品為研磨頭立庫,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),旨在精準(zhǔn)定位研磨頭,實(shí)時(shí)顯示 研磨頭信息;解決產(chǎn)線人工查找研磨頭費(fèi)時(shí)費(fèi)力且不準(zhǔn)確的問題,為生產(chǎn)管理者提供研磨頭的實(shí)時(shí)狀態(tài),提高研磨頭的使用周轉(zhuǎn)率,同時(shí)向上擴(kuò)大存儲(chǔ)空間,減少研磨頭存放的占地面積。

原產(chǎn)品手冊(cè)有圖

 

工作原理

將裝有研磨頭的托盤放入進(jìn)料口,搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將其運(yùn)輸?shù)街付ㄎ恢?,同時(shí)將信息 顯示在工控屏幕上。

 

規(guī)格型號(hào)


產(chǎn)品系列

方艙

產(chǎn)品名稱

方艙1號(hào)

型號(hào)

XX-L1-RFeStocker

軟件版本

V1.1

硬件版本

V1.1

系統(tǒng)兼容

兼容EAP、MES、PMS等第三方系統(tǒng) 




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